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在半导体芯片的精密制造场域里
毫厘温差,足以定义成败
每一次沉积、每一道蚀刻
温度曲线的轻微扰动,都可能影响最终良率与品质
谁来为高端制造,筑牢“温度”这一生命线?
今日,答案揭晓——
凭借对精密制造场景的深刻理解与技术积淀
台达正式推出
高精度模块化温控器DTDM系列
守护半导体制造“温度生命线”技术

1
满足多区加热需求
通过灵活构建多达32路的独立温控单元的独特优势,为半导体加工解决从紧凑型设备到大型多区加热系统的全方位需求。
2
温控精准可靠
集前馈补偿、PID串级、14点温度校正于一体,不仅能快速响应,更能预见干扰,实现真正的稳定与精准。
3
智能可靠守护
一对多控制:在需要多点控温的场景,仅通过单一测温点的温度信息,即可以自订比例的方式实现多通道的加热控制输出,大幅提升效益。
输入冗余切换:传感器故障瞬间无扰切换,保障生产零中断。
多通道温差监控:实时比对,异常温差即刻预警,确保工艺均匀性。
4
无缝数字集成
内置状态数据库与逻辑运算能力,是连接设备层与信息层的智能节点,让数据流动更顺畅。
台达DTDM系列,已准备就绪
驾驭毫厘温差,铸就非凡工艺